瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2200系列

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硅微機(jī)械傳感器，尺寸極小 (3.5 x 3.5 mm2) ，適用于微型氣體體積 (20 mm3)
短時(shí)間常數(shù)（膜時(shí)間常數(shù) <5 ms)
低功率、高靈敏度以及最小加熱功率（< 6 mW)
不受流量影響

產(chǎn)品型號：: MTCS2200系列

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產(chǎn)品介紹

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器? MTCS2200系列描述：

熱導(dǎo)式氣體傳感器采用薄膜沉積和硅微機(jī)械加工技術(shù)在硅片上制成。該裝置可測定二元或三元?dú)怏w混合物的氣體濃度。

該傳感器由一個(gè)集成加熱器組成，該加熱器位于絕緣隔熱膜上。兩個(gè)薄膜電阻用于加熱和測量膜的溫度[Tm]。兩個(gè)參考電阻集成在膜旁邊的硅片上，以補(bǔ)償環(huán)境溫度變化。這四個(gè)電阻經(jīng)過鈍化，以防止受到氣體的影響，并通過金絲鍵合與TO8或TO5底座進(jìn)行電氣連接。

傳感器附在硅支架上，該支架還允許與膜下方進(jìn)行氣體交換。膜上方或下方是由一個(gè)在硅中各向異性蝕刻的腔組成的微型結(jié)構(gòu)。由此在膜與較冷部分之間形成的中空部分是氣體熱導(dǎo)測量部分。測量氣體通過側(cè)面開口擴(kuò)散到加熱膜上方的空腔內(nèi)，進(jìn)而防止氣流擾動(dòng)。傳感器的熱傳遞取決于膜周圍氣體的熱導(dǎo)率。此類傳感器通常采用恒流電路來測量氣體。氣體濃度與溫度差異[δT=Tm– Tamb] 直接相關(guān)，該差異通過測量電功率變化測得。

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器??MTCS2200系列?特點(diǎn)：

硅微機(jī)械傳感器，尺寸極小 (3.5 x 3.5 mm2) ，適用于微型氣體體積 (20 mm3)

短時(shí)間常數(shù)（膜時(shí)間常數(shù) <5 ms)

低功率、高靈敏度以及zui小加熱功率（< 6 mW)

不受流量影響

薄膜上的集成傳感電阻和溫度補(bǔ)償電阻

可靠且一致的靈敏度性能

由于批量制造工藝，傳感器規(guī)格差異小

線性輸出信號與目標(biāo)氣體濃度

長期穩(wěn)定運(yùn)行

高機(jī)械阻力

無需現(xiàn)場維護(hù)

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器??MTCS2200系列?應(yīng)用：

工業(yè)：

通過測量二元混合物（Ar，N2中的H2）或準(zhǔn)二元混合物（空氣中的H2，He或 CO2）的熱導(dǎo)率來測定氣體濃度

燃燒控制

監(jiān)測天然氣中的CH4 濃度的氣體引擎控制

檢測氟利昂（

R-11；

R-12、R-21、R-22）、CFC或CF3 CH2 F氟乙烷（R-134或R-404）等制冷劑氣體的泄露監(jiān)測冷卻系統(tǒng)

測量空氣中的氫氣（0-5%或更高濃度）、氦氣（0-5000 ppm）或氙氣

安全工業(yè)過程控制、園藝、食品儲存、發(fā)酵過程控制

微型真空裝置，如微型皮拉尼壓力真空計(jì)

基于導(dǎo)熱系數(shù)的空氣微型絕對濕度傳感器

飲料行業(yè) (CO2 濃度)

家用：

安全、火警或室內(nèi)空氣質(zhì)量的CO2 安全監(jiān)測 (0-4%)

檢測微波爐中的烹飪點(diǎn)

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器??MTCS2200系列參數(shù)：

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器??MTCS2200系列選型：

訂購信息
型號: MTCS 220X – Y - Z
X	Y	Z
1:雙元混合物 2:CH4 3:CO2 4:H2, He 5:CFC,氟利昂 6:Ar, Ne, N2, O2	1:TO5-4 2:TO8 3:TO5-(6+2)	1:鋁金屬化和引線鍵合 2:金金屬化和引線鍵合